Rastrovací elektronový mikroskop

Z Wikipedie, otevřené encyklopedie
Skočit na: Navigace, Hledání

Rastrovací, nebo též řádkovací elektronový mikroskop (angl. scanning electron microscope, SEM) je elektronový mikroskop, který využívá k zobrazování pohyblivého svazku elektronů.

Princip SEM[editovat | editovat zdroj]

Na každé místo vzorku je zaměřen úzký paprsek elektronů (prochází jej po řádcích – odtud řádkovací). Interakcí dopadajících elektronů s materiálem vzorku vznikají různě detekovatelné složky. Jak paprsek putuje po vzorku, mění se podle charakteru povrchu úroveň signálu v detektoru. Z těchto signálů je pak sestavován výsledný obraz.

Detektory SEM[editovat | editovat zdroj]

Elektronový tubus[editovat | editovat zdroj]

Zdrojem elektronů je elektronová tryska, nejčastěji wolframové žhavené vlákno, umístěné v tzv. Wehneltově válci.

Elektrony jsou urychlovány směrem k vzorku urychlovacím napětím (typicky 0,1-30kV).

Svazek elektronů (paprsek) je upravován, zaostřován elektromagnetickými čočkami. Tubus obsahuje zpravidla jednu nebo více kondenzorových čoček, objektivovou čočku, vychylovací cívky rastrů a cívky stigmátorů pro korekci astigmatismu. Dopad paprsku elektronů na vzorek způsobí emisi sekundárních elektronů, zpětně odražených elektronů, RTG záření a jiných signálů ze vzorku, které jsou pak detekovány a analyzovány.

Důležité pojmy[editovat | editovat zdroj]

Kolorovaná mikrofotografie z rastrovacího elektronového mikroskopu
  • zvětšení - vzniká větším či menším vychýlením svazku pomocí rastrovacích cívek
  • pracovní vzdálenost - vzdálenost na kterou je paprsek zaostřen objektivem
  • proud ve stopě - proud (množství elektronů) dopadající na vzorek
  • velikost stopy - průměr svazku v místě dopadu na vzorek
  • rozlišení - schopnost rozlišit dva body (přibližně polovina stopy)

Související články[editovat | editovat zdroj]

Externí odkazy[editovat | editovat zdroj]