Rastrovací elektronový mikroskop: Porovnání verzí
m →Externí odkazy: commonscat |
|||
| Řádek 25: | Řádek 25: | ||
*[[Mikrofotografie]] |
*[[Mikrofotografie]] |
||
== Externí odkazy == |
== Externí odkazy == |
||
{{Commonscat|Scanning electron microscope}} |
|||
[http://www.isibrno.cz/index.php?lang=_cz&co=/ustav/history.php&nalogovan=&id_druh_menu=1&Nerolovat=1 Historie elektronové mikroskopie na Akademii věd v Brně] [http://www.isibrno.cz/index.php?lang=_cz&co=/ustav/history.php&nalogovan=&id_druh_menu=3&Nerolovat=1&v=1 (v obrazech)] |
[http://www.isibrno.cz/index.php?lang=_cz&co=/ustav/history.php&nalogovan=&id_druh_menu=1&Nerolovat=1 Historie elektronové mikroskopie na Akademii věd v Brně] [http://www.isibrno.cz/index.php?lang=_cz&co=/ustav/history.php&nalogovan=&id_druh_menu=3&Nerolovat=1&v=1 (v obrazech)] |
||
[http://www.tescan.cz/cz/an_gal.html Galerie snímků z REM od brněnské fy Tescan] |
[http://www.tescan.cz/cz/an_gal.html Galerie snímků z REM od brněnské fy Tescan] |
||
Verze z 3. 6. 2009, 09:14
Rastrovací, nebo též řádkovací elektronový mikroskop (angl. scanning electron microscope, SEM) je elektronový mikroskop, který využívá k zobrazování pohyblivého svazku elektronů.
Princip SEM
Na každé místo vzorku je zaměřen úzký paprsek elektronů (prochází jej po řádcích – odtud řádkovací). Interakcí dopadajících elektronů s materiálem vzorku vznikají různě detekovatelné složky. Jak paprsek putuje po vzorku, mění se podle charakteru povrchu úroveň signálu v detektoru. Z těchto signálů je pak sestavován výsledný obraz. Získaný obraz je standardně monochromatický.
Elektronový tubus
Zdrojem elektronů je elektronová tryska, nejčastěji wolframové žhavené vlákno, umístěné v tzv. Wehneltově válci.
Elektrony jsou urychlovány směrem k vzorku urychlovacím napětím (typicky 0,1-30kV).
Svazek elektronů (paprsek) je upravován, zaostřován elektromagnetickými čočkami. Tubus obsahuje zpravidla jednu nebo více kondenzorových čoček, objektivovou čočku, vychylovací cívky rastrů a cívky stigmátorů pro korekci astigmatismu. Dopad paprsku elektronů na vzorek způsobí emisi sekundárních elektronů ze vzorku, které jsou pak analyzovány a detekovány.
Důležité pojmy
- zvětšení - vzniká větším či menším vychýlením svazku pomocí rastrovacích cívek
- pracovní vzdálenost - vzdálenost na kterou je paprsek zaostřen objektivem
- proud ve stopě - proud (množství elektronů) dopadající na vzorek
- velikost stopy - průměr svazku v místě dopadu na vzorek
- rozlišení - schopnost rozlišit dva body (přibližně polovina stopy)
Související články
Externí odkazy
Obrázky, zvuky či videa k tématu rastrovací elektronový mikroskop na Wikimedia Commons
Historie elektronové mikroskopie na Akademii věd v Brně (v obrazech)
Galerie snímků z REM od brněnské fy Tescan