Fyzikální depozice z plynné fáze: Porovnání verzí
Smazaný obsah Přidaný obsah
m {{Commonscat}}; kosmetické úpravy |
m {{Autoritní data}}; formát zápisu šablon |
||
Řádek 1: | Řádek 1: | ||
'''Fyzikální depozice z plynné fáze''' ({{ |
'''Fyzikální depozice z plynné fáze''' ({{Vjazyce|en}} ''Physical Vapour Deposition'', zkratka '''PVD''') je označení skupiny technik vakuové depozice tenkých vrstev. Společným znakem těchto technik je skutečnost, že se zpravidla vychází z pevného substrátu (na rozdíl od technik [[chemická depozice z plynné fáze|chemické depozice]], kdy jsou reaktanty v plynné fázi). |
||
Mezi tyto techniky patří: |
Mezi tyto techniky patří: |
||
Řádek 14: | Řádek 14: | ||
{{Pahýl}} |
{{Pahýl}} |
||
{{Autoritní data}} |
|||
{{Portály|Fyzika}} |
{{Portály|Fyzika}} |
Aktuální verze z 6. 8. 2021, 13:26
Fyzikální depozice z plynné fáze (anglicky Physical Vapour Deposition, zkratka PVD) je označení skupiny technik vakuové depozice tenkých vrstev. Společným znakem těchto technik je skutečnost, že se zpravidla vychází z pevného substrátu (na rozdíl od technik chemické depozice, kdy jsou reaktanty v plynné fázi).
Mezi tyto techniky patří:
- Vakuové napařování
- Depozice elektronovým svazkem
- Pulsní laserová depozice (PLD)
- Naprašování
Výše jmenované povlakovací procesy probíhají ve vakuu či kontrolované atmosféře při tlacích 10−4 až 100 Pa.
Externí odkazy[editovat | editovat zdroj]
- Obrázky, zvuky či videa k tématu PVD na Wikimedia Commons