Rastrovací elektronový mikroskop: Porovnání verzí
Bez shrnutí editace |
m robot přidal: hu:Pásztázó elektronmikroszkóp |
||
Řádek 42: | Řádek 42: | ||
[[fa:میکروسکوپ الکترونی روبشی]] |
[[fa:میکروسکوپ الکترونی روبشی]] |
||
[[fr:Microscopie électronique à balayage]] |
[[fr:Microscopie électronique à balayage]] |
||
[[hu:Pásztázó elektronmikroszkóp]] |
|||
[[it:Microscopio elettronico a scansione]] |
[[it:Microscopio elettronico a scansione]] |
||
[[ja:走査型電子顕微鏡]] |
[[ja:走査型電子顕微鏡]] |
Verze z 27. 4. 2010, 17:50
Rastrovací, nebo též řádkovací elektronový mikroskop (angl. scanning electron microscope, SEM) je elektronový mikroskop, který využívá k zobrazování pohyblivého svazku elektronů.
Princip SEM
Na každé místo vzorku je zaměřen úzký paprsek elektronů (prochází jej po řádcích – odtud řádkovací). Interakcí dopadajících elektronů s materiálem vzorku vznikají různě detekovatelné složky. Jak paprsek putuje po vzorku, mění se podle charakteru povrchu úroveň signálu v detektoru. Z těchto signálů je pak sestavován výsledný obraz. Získaný obraz je standardně monochromatický.
Elektronový tubus
Zdrojem elektronů je elektronová tryska, nejčastěji wolframové žhavené vlákno, umístěné v tzv. Wehneltově válci.
Elektrony jsou urychlovány směrem k vzorku urychlovacím napětím (typicky 0,1-30kV).
Svazek elektronů (paprsek) je upravován, zaostřován elektromagnetickými čočkami. Tubus obsahuje zpravidla jednu nebo více kondenzorových čoček, objektivovou čočku, vychylovací cívky rastrů a cívky stigmátorů pro korekci astigmatismu. Dopad paprsku elektronů na vzorek způsobí emisi sekundárních elektronů, zpětně odražených elektronů, RTG záření a jiných signálů ze vzorku, které jsou pak detekovány a analyzovány.
Důležité pojmy
- zvětšení - vzniká větším či menším vychýlením svazku pomocí rastrovacích cívek
- pracovní vzdálenost - vzdálenost na kterou je paprsek zaostřen objektivem
- proud ve stopě - proud (množství elektronů) dopadající na vzorek
- velikost stopy - průměr svazku v místě dopadu na vzorek
- rozlišení - schopnost rozlišit dva body (přibližně polovina stopy)
Související články
Externí odkazy
Obrázky, zvuky či videa k tématu rastrovací elektronový mikroskop na Wikimedia Commons Historie elektronové mikroskopie na Akademii věd v Brně (v obrazech) Galerie snímků z REM od brněnské fy Tescan