Rastrovací elektronový mikroskop: Porovnání verzí
m robot přidal: ca, it změnil: ar, ru |
m robot přidal: bg:Сканиращ електронен микроскоп |
||
Řádek 35: | Řádek 35: | ||
[[ar:مجهر إلكتروني ماسح]] |
[[ar:مجهر إلكتروني ماسح]] |
||
[[bg:Сканиращ електронен микроскоп]] |
|||
[[ca:Microscopi electrònic de rastreig]] |
[[ca:Microscopi electrònic de rastreig]] |
||
[[de:Rasterelektronenmikroskop]] |
[[de:Rasterelektronenmikroskop]] |
Verze z 28. 1. 2010, 13:40
Rastrovací, nebo též řádkovací elektronový mikroskop (angl. scanning electron microscope, SEM) je elektronový mikroskop, který využívá k zobrazování pohyblivého svazku elektronů.
Princip SEM
Na každé místo vzorku je zaměřen úzký paprsek elektronů (prochází jej po řádcích – odtud řádkovací). Interakcí dopadajících elektronů s materiálem vzorku vznikají různě detekovatelné složky. Jak paprsek putuje po vzorku, mění se podle charakteru povrchu úroveň signálu v detektoru. Z těchto signálů je pak sestavován výsledný obraz. Získaný obraz je standardně monochromatický.
Elektronový tubus
Zdrojem elektronů je elektronová tryska, nejčastěji wolframové žhavené vlákno, umístěné v tzv. Wehneltově válci.
Elektrony jsou urychlovány směrem k vzorku urychlovacím napětím (typicky 0,1-30kV).
Svazek elektronů (paprsek) je upravován, zaostřován elektromagnetickými čočkami. Tubus obsahuje zpravidla jednu nebo více kondenzorových čoček, objektivovou čočku, vychylovací cívky rastrů a cívky stigmátorů pro korekci astigmatismu. Dopad paprsku elektronů na vzorek způsobí emisi sekundárních elektronů ze vzorku, které jsou pak analyzovány a detekovány.
Důležité pojmy
- zvětšení - vzniká větším či menším vychýlením svazku pomocí rastrovacích cívek
- pracovní vzdálenost - vzdálenost na kterou je paprsek zaostřen objektivem
- proud ve stopě - proud (množství elektronů) dopadající na vzorek
- velikost stopy - průměr svazku v místě dopadu na vzorek
- rozlišení - schopnost rozlišit dva body (přibližně polovina stopy)
Související články
Externí odkazy
Obrázky, zvuky či videa k tématu rastrovací elektronový mikroskop na Wikimedia Commons Historie elektronové mikroskopie na Akademii věd v Brně (v obrazech) Galerie snímků z REM od brněnské fy Tescan