Fotolitografie: Porovnání verzí
Smazaný obsah Přidaný obsah
m robot přidal: simple:Photolithography |
m robot přidal: bg:Фотолитография |
||
| Řádek 5: | Řádek 5: | ||
[[Kategorie:Technologie]] |
[[Kategorie:Technologie]] |
||
[[bg:Фотолитография]] |
|||
[[de:Fotolithografie (Halbleitertechnik)]] |
[[de:Fotolithografie (Halbleitertechnik)]] |
||
[[en:Photolithography]] |
[[en:Photolithography]] |
||
Verze z 21. 5. 2010, 15:47
Fotolitografie je technologický postup používaný například při výrobě polovodičových součástek. Na polovodičovou destičku se nanese vrstva fotorezistu, posléze se destička ozáří a projde vývojkou. Fotorezist poté chrání jím pokrytá místa před vyleptáním.