Fyzikální depozice z plynné fáze: Porovnání verzí

Skočit na navigaci Skočit na vyhledávání
bez shrnutí editace
(Mírné rozšíření (na seriozní úpravu není čas :o/ ))
Bez shrnutí editace
'''PVD''' ({{vjazyce|en}} ''Physical Vapour Deposition'') je označení skupiny technik vakuové depozice tenkých vrstev. Společným znakem těchto technik je skutečnost, že se zpravidla vychází z pevného substrátu (narozdílna rozdíl od technik CVD).
 
Mezi tyto techniky patří:
 
- Vakuové napařování
 
- Depozice elektronovým svazkem
 
- Pulsní laserová depozice (PLD)
 
- Naprašování
 
Neregistrovaný uživatel

Navigační menu