MEMS
Z Wikipedie, otevřené encyklopedie
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) je označení samotné technologie i produktů z ní vyplývajících.
[editovat] Technologie MEMS
Pod tímto pojmem se míní velmi sofistikované umístění elektronických, ale především mikro-mechanických prvků, na křemíkovou bázi pomocí moderních výrobních metod, které mají svůj původ ve výrobě integrovaných obvodů.
[editovat] Produkty MEMS
Produkty MEMS vychází z možností MEMS technologie a jedná se především pohybové senzory (akcelerometry, gyroskopy…), ale i mikročerpadla, mikropohony, mikrocívky aj. V souvislosti s těmito produkty se hovoří o systému na čipu nebo také o inteligentním snímači, jelikož je zde přítomen jak mechanický subsystém (nutný pro transformaci fyzikální podstaty na elektrickou veličinu), tak elektronický subsystém zajišťující následné zpracování, neboli postprocessing (zesílení, saturace, filtrace aj.).
