MEMS

Schematický princip MEMS gyroskopu, mechanická část

MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) je označení samotné technologie i produktů z ní vyplývajících.

Technologie MEMS

Pod tímto pojmem se míní velmi sofistikované umístění elektronických, ale především mikro-mechanických prvků, na křemíkovou bázi pomocí moderních výrobních metod, které mají svůj původ ve výrobě integrovaných obvodů.

Produkty MEMS

Produkty MEMS vychází z možností MEMS technologie a jedná se především pohybové senzory (akcelerometry, gyroskopy…), ale i mikročerpadla, mikropohony, mikrocívky aj. V souvislosti s těmito produkty se hovoří o systému na čipu nebo také o inteligentním snímači, jelikož je zde přítomen jak mechanický subsystém (nutný pro transformaci fyzikální podstaty na elektrickou veličinu), tak elektronický subsystém zajišťující následné zpracování, neboli postprocessing (zesílení, saturace, filtrace aj.).

Externí odkazy

• www.memsnet.org
• video na MEMS