FEI Company

FEI Company
Právní forma	nadnárodní
Založeno	Albuquerque, New Mexico, USA (4. duben 1975)
Sídlo	Redmond, Washington, USA
Počet poboček	Oregon
Klíčoví lidé	Dr. Don R Kania, Prezident společnosti a CEO Raymond A. Link, Výkonný viceprezident a CFO Dr. Rob H.J. Fastenau, Výkonný vicepresident pro marketing s technologie Robert S. Gregg, Výkonný viceprezident pro celosvětový prodej a služby Bradley J. Thies, Vicepresident, General Counsel
Oblast výroby	Vědecké a technické nástroje – elektronové mikroskopy
Vyráběné produkty	FIB – fokusovaný iontový paprsek Rastrovací elektronové mikroskopy Transmisní elektronové mikroskopy DualBeam™
Výsledek hospodaření	479.5 milionu dolarů
Počet zaměstnanců	1,770 (2010)
Oficiální web	www.fei.com

FEI Company (NASDAQ) je společnost zabývající se vývojem a výrobou elektronových mikroskopů, byla založena v roce 1971. V současnosti jde o vedoucího dodavatele elektronově a iontově optických zařízení pro širokou škálu výzkumníků, vývojářů i výrobců pracujících v nanometrech. Hlavními odběrateli jsou organizace působící v oblastech:

• výzkumu a vývoje – 3D nanocharakterizace, 3D nanoprototypování, in situ nanoprocesy
• přírodních věd – biomateriály, molekulární biologie, strukturální biologie, systémová biologie
• elektroniky – 3D metrologie, editování integrovaných obvodů, analýza defektů elektronických součástek
• průmyslu – automatizovaná mineralogie, kriminalistika, metalurgie, metrologie

Nástroje vyráběné FEI umožňují za pomoci elektronů a iontů analyzovat a manipulovat s částmi hmoty menšími než je hodnota jednoho angströmu, tedy menšími, než vlnová délka světla (na úrovni velikosti atomů). Nástroje FEI kombinují iontnová a elektronová záření (DualBeam™ systém (SDB)), poskytují 3D obraz a zjednodušují manipulovatelnost se vzorkem. FEI vyvíjí rastrovací (SEM) a transmisní (TEM) elektronové mikroskopy a mimo jiné také komerčně využitelný mikroskop s celosvětově největším rozlišením^[zdroj?]. Hlavní výzkumná střediska FEI sídlí v Severní Americe (Hillsboro – Oregon, USA) a v Evropě (Brno – Česká republika, Eindhoven – Nizozemí) a prodávají svá zařízení do více než 50 zemí celého světa.

Historie

FEI ve světě

• 1949 - Philips Electron Optics uvádí na trh jako první na světě komerční využitelný transmisní elektronový mikroskop (TEM).
• 1958 - Philips Electron Optics prolomil hranici dosavadní viditelnosti 10 Ångströmů pomocí TEM EM200.
• 1971 – Založena společnost FEI, aby poskytovala vysoce čisté, orientované monokrystalické materiály pro výzkum autoemise.
• 1981 – FEI rozvíjí (LMI – liquid metal ion source – iontový zdroj na bázi tekutého kovu)
• 1982 - FEI prodává první tubuss iontovým svazkem používající zdroj na bázi tekutého kovu
• 1983 - FEI prodává první tubus s elektrostaticky fokusovaným svazkem
• Micrion is founded to develop ion beam systems for mask repair.)elektronový paprsek. Micrion se zaměřuje na rozvoj iontového paprsku pro opravu masek. Je založen Micrion, který vyvíjí systémy s iontovým svazkem pro opravy masek
• 1985 – Micrion, vyvíjející systémy s iontovým svazkem pro opravy masek, prodává své první systémy.
• 1989 - FEI prodává první kompletní FIB (zaostřený iontový svazek) pracovní stanici.
• 1990 - Philips Electron Optics uvádí na trh SEM pro šestipalcové polovodičové substráty.
• 1993 - První pracovní stanice DualBeam™ (zkřížený svazek elektronů a iontů pro diagnostiku struktur a jejich opracování včetně schopnosti vytvořit vzorek pro transmisní mikroskop, odprášení části vzorku a pohled do nitra vzorku) (FIB/SEM) produkovaná FEI a Philips Electron Optics.
• 1995 - FEI prodává stou FIB pracovní stanici.
• 1996 - FEI prodává pětitisící zdroj LMI. Micrion vydává svoji sérii 8000 FIB.
• 1996 - Philips Electron Optics získává se společností ElectroScan také jejich technologii ESEM (schopnosti zobrazit jakýkoliv vzorek bez jeho předběžné úpravy včetně dynamických experimentů, dobrých izolantů atd).
• 1996 - Philips Electron Optics získává Delmi Brno.
• 1997 - FEI a Philips Electron Optics fúzují. Vzniká první in-line DualBeam Spojení elektronového a iontového tubusu (svazku) v jednom zařízení
• 1998 - FEI a Micrion nezávisle na sobě nabízejí membránový ořez pro výpočetní průmysl (zálohování dat)
• 1998 - Představen TEM (Tecnai) vše v jednom.
• 1999 - FEI získává společnost Micrion Corporation a integruje její produktovou řadu.
• 2000 - Představena první malá stanice DualBeam.
• 2001 - FEI představuje DualBeam systém pro laboratoře.
• 2001 - První monochromátor (přístroj vyčleňující úzký obor vlnových délek z širšího spektra elektromagnetického vlnění) TEM. První TEM s monochromátorem – elektronovým svazkem s minimalizovaným rozptylem energie primárních elektronů
• 2002 - FEI získává společnost Atomika (SIMS).
• 2003 - FEI získává společnost Revise Inc.
• 2003 - FEI získává společnost Emispec.
• 2004 - FEI prolamuje dosavadní bariéru^[zdroj?] rozlišení 1 angström s přístrojem 200kV Tecnai™.
• 2005 - FEI představuje transmisní elektronový mikroskop Titan se subangströmovým rozlišením
• 2006 - Korigovaný transmisní elektronový mikroskop prolamuje hranici 0,5 angströmu
• 2008 - FEI představuje Magellan, rastrovací elektronový mikroskop s extrémně vysokým rozlišením

Produkty FEI v Brně

Brněnská pobočka FEI je poměrně úzce zaměřena na elektronové mikroskopy a FIB:

• Tři základní typy transmisních mikroskopů (Morgagni, Tecnai Spirit a Tecnai 20, určeny 200kV, 120kV a 100kV mikroskopy), určeny většinou pro biologické aplikace.
• Tři základní rodiny rastrovacích mikroskopů (Quanta, Magellan, Nova NanoSEM).
• Přístroje se dvěma svazky elektronů a iontů (DualBeam) spojující SEM a FIB (Quanta, Quanta 3D FEG). Viz [1]
• Moduly urychlovacích vysokonapěťových zdrojů od 30kV do 300kV (se stabilitou 10ppm resp lepší než 1ppm). Na stabilitě a přesnosti energetického zdroje záležela i stabilita a přesnost mikroskopu.
• Autoemisní trysky pro rastrovací mikroskopy.
• Iontové tubusy pro použití v zařízeních DualBeam, které vytvářejí a fokusují svazek iontů galia na preparátu velikosti stopy a průměru několik nanometrů pro zobrazení pomocí iontů.

Rok	Typ přístroje	Vyrábí se v současnosti	Specifikace	Typ	Fotografie
1993	EM208	ne	První (TEM) přístroj vůbec	TEM
1996	EM208S	ne	Inovovaná verze původního přístroje s motorizovanými posuvy	TEM
1997	XL30TMP	ne	První SEM přístroj, nárůst aktivit	SEM
1998	XL30ESEM	ne	První přístroj s ESEM technologií	SEM
2000	XL40ESEM	ne	První ESEM se stolkem 150x150mm	SEM
2000	Morgagni	ne	Radikálně přepracovaná verze rutinního TEM se zabudovanou digitální kamerou	TEM
2001	Quanta	ne	Nová rodina rutiních SEM s možností zobrazit a analyzovat jakýkoliv vzorek	SEM
2002	Quanta HV	ne	Vysokovakuová verze nové rodiny	SEM
2003	Quanta FEG	ne	První přístroj a autoemisní katodou s nejširším zaběrem použitých detekcí a technologií	SEM
2003	Quanta 3D	ano	První SDB s ESEM technologií	SDB
2004	Tecnai G2 Spirit	ano	Transmisní mikroskop 120kV pro široké využití	TEM
2004	Tecnai G2 20	ano	Transmisní mikroskop 200kV pro široké využití	TEM
2005	Nova NanoSEM	ano	První ultravysokorozlišovací SEM	SEM
2005	Quanta MkII	ano	Inovace řady Quanta	SEM
2005	Inspect	ano	Rutinní přístroj určený především pro kontrolní účely	SEM
2006	Quanta FEG MKII	ano	Inovace rady Quanta FEG	SEM
2007	Quanta 3D FEG	ano	Nový SDB střední třídy s ESEM technologií a autoemisní tryskou	SDB
2007	Tecnai G2 30	ano	Transmisní mikroskop 300kV pro široké využití	TEM
2008	Magellan	ano	První SEM s extrémně vysokým rozlišením	SEM
2008	Quanta 3D 200i	ano	Inovace řady Quanta 3D	SDB

Trhy FEI Czech Republic, s.r.o.

• Cca 50 % výrobků je distribuováno na evropském trhu nebo přes evropský trh servisováno. Pokrývá Rusko, Latinskou Ameriku, Arabského světa a Indii.
• Cca 20 – 30 % výrobků je distribuováno do USA a Kanady.
• Cca 20 – 30 % výrobků do zemí: Japonsko, Čína, Taiwan, Korea, Malajsie, Thajsko.

Členění přístrojového trhu

• Nanoelektronika
• Nanovýzkum
• Nanoprůmysl
• Nanobiologie

Členění trhu dle odběratele

Polovodičový průmysl	Průmysl obecně	Vědecký výzkum

Externí odkazy

• Oficiální web FEI (anglicky)
• Oficiální web brněnského Technologického parku (česky)
• Mikrosvěty v Brně vydělávají miliony Článek přejatý z www.vzdelavani.ihned.cz